| 藍寶石單晶主要生產(chǎn)技術(shù)優(yōu)缺點及應(yīng)用比較 |
| 主要生產(chǎn)技術(shù) |
優(yōu)點 |
缺點 |
應(yīng)用 |
泡生法
(Kyropoulos) |
高品質(zhì)（光學(xué)等級），低缺陷密度，大尺寸，高產(chǎn)能，成本相對比較低 |
操作復(fù)雜，一致性不高，成品率較低，不易生長C軸晶體 |
全球用于LED襯底的藍寶石基板70%以上為泡生法或各種改良泡生法生長，美國Rublcon、俄羅斯Monocrystal、韓國Astek、臺灣越峰 |
柴氏法
(Czochralski) |
生產(chǎn)情形易于觀察，尺寸容易控制晶體外形相對規(guī)整。 |
缺陷密度大；須使用依金坩堝，成本較高，尺寸易受限 |
加拿大HoneyWell（2008年被中國四聯(lián)集團收購）法國Saint-Gobain、日本藍寶石企業(yè) |
導(dǎo)模法>
(EFG) |
品質(zhì)佳 |
設(shè)備、工藝要求復(fù)雜 |
日本京瓷（Kyocera），并木（Namiki） |
溫度梯度法
(TGT) |
設(shè)備簡單，操作方便，無機械擾動、界面穩(wěn)定、成品率高，可生長c軸晶體 |
晶體無轉(zhuǎn)動，溫場不易均勻；晶體需后續(xù)退火處理，周期長成本高，坩堝強制作用顯著 |
中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所光電材料事業(yè)部深圳愛彼斯通 |
| 坩堝下降法 |
設(shè)備簡單，成品率高 |
晶體缺陷密度較大 |
云南藍晶已批量生產(chǎn)，但價格約為泡生法晶體的一半左右 |
| 垂直水平溫度梯度冷卻法 |
晶體大小（直徑和高度）與形狀相對不受限制 |
專利掌握于韓國STC手中 |
韓國（STC） |
熱交換法
(HEM) |
高品質(zhì)，大尺寸 |
設(shè)備要求高，工藝復(fù)雜，成本高，主要難題是晶體容易開裂 |
美國Crystal System(2010年7月被美國GT Sdar收購)國內(nèi)已開始涉足 |
冷心放肩微量提拉法
(SAPMAC) |
晶體完整性好，可實現(xiàn)原位退火，周期短，成本低 |
易受到溫度波動的影響；不易生長C軸晶體 |
哈爾濱大奧瑞德光電技術(shù)有限公司 |
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