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定邊膜喂長晶法

定邊膜喂法 (Edge-defined Film-fed Growth, EFG) 亦稱導模法.

生長晶體的原理如圖12所示。

將原料置于銥坩堝中，由射頻感應加熱線圈加熱原料使之熔化，于坩堝中間放置一銥制模具，利用毛細作用讓熔湯攤平于銥制模具的上方表面，形成一薄膜，放下晶種使之碰觸到薄膜，于是薄膜在晶種的端面上結晶成與晶種相同結構的單晶。晶種再緩慢往上拉升，逐漸生長單晶。

同時由坩堝中供應熔湯補充薄膜，由于此薄膜之邊緣受到銥模所限定，并扮演持續喂料以供晶體生長之用，所以稱為限定邊緣膜喂法，簡稱導膜法。

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